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传韩国Nextin对华供应第三代晶圆检测设备
时间: 2024-04-26 03:53:46 |   作者: 火狐官方下载官网

  据韩媒《TheElec》报道,Nextin在第三季度供应了第三代晶圆检测设备。这笔交易价值70亿韩元,单台设备成本为600万美元,因此这意味着Nextin可能只提供了一台设备。

  Nextin的“AEGIS-DP”和“AEGIS-II”设备,以光学图像对比方式检测半导体元件制造工艺(半导体电路生成工艺)中的细微花纹缺陷(Pattern Defect)和杂质(Particle),有助于半导体元件制造商研发单位工艺技术和提升良率。

  据悉,该晶圆厂设备制造商的Aegis-3是其最新设备,与Aegis-2相比,检测速度提高了30%,运算能力也提高到1.47 tflops。aegis 3产品的利润率也比前作有所提高,成本比率达到了约23%。

  nextin代表Park Tae-hoon表示:“第三代设备将被运送到中国委托工厂和存储器企业。预计部分第二代订购顾客将要求升级为第三代设备。”

  nextin还计划提供新产品“lesq”和“iris”。resq是用于euv工程的精巧的静电去除装置,可以去除euv等前端工程中产生的细微的静电,防止晶片图案的缺陷。iris作为三维(3d)晶片检查机器,预计将用于nand的生产。这两种设备当初的目标是今年年末交货,但由于顾客的环境认证和投资减少等原因,设备的供货被推迟到明年。

  据InvestKorea资料显示,Nextin是韩国唯一的半导体检测设备专业技术企业,主要制售晶圆花纹缺陷检测设备(wafer inspection system),用以检测半导体元件电路制作工艺(前道工艺、晶圆加工)中的花纹缺陷和杂质。

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